一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811174466.8
IPC分类号：B08B3/08B08B3/12B08B3/10B08B3/02H01L21/67
申请日期：
2018-10-09
申请人：
西安中科华芯测控有限公司

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专利名称	一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法
申请号	CN201811174466.8	申请日期	2018-10-09
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-18	公开/公告号	CN109226046A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/08 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/08 具有化学作用或溶解作用的液体（使用的物质，参见有关的类）	IPC分类号	B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;H01L21/67查看分类表>
申请人	西安中科华芯测控有限公司	申请人地址	陕西省西安市高新区西部大道*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安中科华芯测控有限公司	当前权利人	西安中科华芯测控有限公司
发明人	杨广;张雪荣;王健康;黄昀昀
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	徐文权

摘要

本发明公开了一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，在退火质子交换法制备铌酸锂相位调制器芯片的制备介质掩模工艺和质子交换工艺之间以及质子交换工艺和退火工艺之间增设彻底清洗晶圆工艺，所述彻底清洗晶圆工艺包括以下步骤：将晶圆置于浓硫酸双氧水洗液中浸泡；置于无水乙醇中加热并进行超声处理；置于丙酮中加热并进行超声处理；置于RCA一号洗液中加热并进行兆声超声处理；置于RCA二号洗液中加热恒温处理；采用去离子水兆声喷洒。本发明采用浓硫酸双氧水混合洗液替代铬酸洗液，避免了铬酸洗液中大量的金属离子杂质污染衬底，同时也达到去除有机污染物的目的。