一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201620553624.0
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
申请日期：
2016-06-07
申请人：
光宏光电技术（深圳）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板
申请号	CN201620553624.0	申请日期	2016-06-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;2查看分类表>
申请人	光宏光电技术（深圳）有限公司	申请人地址	广东省深圳市西乡镇鹤州恒丰工业城C5栋4楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	光宏光电技术（深圳）有限公司	当前权利人	光宏光电技术（深圳）有限公司
发明人	陈孟财
代理机构	深圳市百瑞专利商标事务所（普通合伙）	代理人	曾新浩

摘要

本实用新型公开一种用于蒸镀OLED显示面板的掩模板，所述掩模板包括底板，所述底板包括ITO面和连接面，所述底板上设有贯穿ITO面和连接面的蒸镀孔，在所述连接面上设有至少一层掩模板层，各掩模板层设有开口，掩模板层的开口的尺寸随着掩模板层与底板的距离扩大而扩大，所述蒸镀孔与各掩模板层的开口相连通形成阶梯形通孔，与ITO面距离最远的掩模板层的平面为蒸镀面，所述蒸镀面上设有的纳米层,所述蒸镀孔的尺寸小于所述掩模板层的开口的尺寸，这样可以非常方便的将底板和掩模板层做的更薄，多层掩模板层叠加可以非常好的保证掩模板的强度，如此在保证蒸镀孔的具有较小高宽比的前提下，进一步将蒸镀孔的宽度尺寸做的更小。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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