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用于少量液体的喷射装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200810134321.5
  • IPC分类号:B05C7/06;B05C5/02
  • 申请日期:
    2008-07-24
  • 申请人:
    诺信公司
著录项信息
专利名称用于少量液体的喷射装置
申请号CN200810134321.5申请日期2008-07-24
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2009-01-28公开/公告号CN101352705
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B05C7/06IPC分类号B;0;5;C;7;/;0;6;;;B;0;5;C;5;/;0;2查看分类表>
申请人诺信公司申请人地址
美国俄亥俄州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人诺信公司当前权利人诺信公司
发明人岛田隆治
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司代理人车文;郑立
摘要
问题:提供一种少量液体的喷射装置,用于将如液体感光保护剂、表面保护膜、功能涂覆剂等特别精细的液体雾化、且将其涂抹到如半导体硅片、玻璃基板等涂敷目标以形成薄膜。解决手段:当分配液体时针状针尖端部分(8A)和第一喷嘴孔(7a)之间的打开间隙由针运动量调节装置(2C)调节非常微小量,且液体沿针尖端部分(8A)从第一喷嘴孔(7a)渗出,通过流过第一雾化压缩气体通道(5A)的第一雾化压缩气体使液体形成微小颗粒,且将液体从第二喷嘴孔(9a)排出,排出流流过第三喷嘴孔(10a)并被排出,第三喷嘴(10)的第二级雾化/涡流的形成的压缩气体与排出流相遇,由此使排出流形成更小的颗粒,并旋转和分散并被涂抹到涂敷目标。

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