一种化学气相沉积炉

发明专利无效专利

申请号：
CN201711316773.0
IPC分类号：C23C16/26;C23C16/455;C23C16/46
申请日期：
2017-12-12
申请人：
湖南顶立科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种化学气相沉积炉
申请号	CN201711316773.0	申请日期	2017-12-12
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-05-18	公开/公告号	CN108048817A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/26 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/22 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的〔4〕 C23C16/26 仅沉积碳〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;2;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;4;6查看分类表>
申请人	湖南顶立科技有限公司	申请人地址	湖南省长沙市天心区暮云经济开发区顶立科技园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南顶立科技有限公司	当前权利人	湖南顶立科技有限公司
发明人	胡祥龙;戴煜;周岳兵;黄启忠;谭瑞轩
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	罗满

摘要

本申请公开了一种化学气相沉积炉，包括炉壳和炉壳内部的沉积室，沉积室中部设有发热体，沉积室侧壁上设有进气管路，沉积室顶盖上设有气压调节环，气压调节环用于调节产品内侧与产品外侧之间的气压大小。该化学气相沉积炉，主要用于多孔产品的增密处理，产品的顶部与气压调节环接触，发热体对产品内侧进行加热，沿产品厚度方向形成温度梯度，碳源气体从进气管路进入沉积室，通过气压调节环调节产品外侧与内侧的气压，使产品外侧与内侧形成气压差，产品外侧的气压大于产品内侧的气压，因而碳源气体在气压差的作用下可强行通过筒状产品上孔洞，从而可在产品内部的孔洞中充分进行沉积反应，改善沉积效果，提高产品的整体密度，且沉积速率快。

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