加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

炉体温度梯度实时可调机构

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920210231.X
  • IPC分类号:F27D1/00;F27D19/00
  • 申请日期:
    2009-09-27
  • 申请人:
    上海元亮光电科技有限公司
著录项信息
专利名称炉体温度梯度实时可调机构
申请号CN200920210231.X申请日期2009-09-27
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F27D1/00IPC分类号F;2;7;D;1;/;0;0;;;F;2;7;D;1;9;/;0;0查看分类表>
申请人上海元亮光电科技有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海元亮光电科技有限公司,元亮科技有限公司当前权利人上海元亮光电科技有限公司,元亮科技有限公司
发明人黄小卫
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种炉体温度梯度实时可调机构,涉及晶体生长设备和高温设备,属于晶体生长设备和半导体设备制造技术领域,主要为炉体,由炉壁和炉盖构成,炉盖放置在炉壁上下端面,其特征在于:所述炉壁和上下炉盖在垂直方向上分成一层或多层,在水平方向上分成一块或多块。有益效果是将炉壁分割成若干个独立室、炉盖也分割成若干个独立冷却室的炉膛,在应用中每个腔室的冷却流体、液体或气体的温度和流量都可以分别控制,控制每个小腔室的流量和温度,就可以在炉膛的空间内实现对温度梯度的精确控制。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供