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运输环

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201880016038.4
  • IPC分类号:C23C16/458
  • 申请日期:
    2018-01-25
  • 申请人:
    艾克斯特朗欧洲公司
著录项信息
专利名称运输环
申请号CN201880016038.4申请日期2018-01-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-12-03公开/公告号CN110536976A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人艾克斯特朗欧洲公司申请人地址
德国黑措根拉特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人艾克斯特朗欧洲公司当前权利人艾克斯特朗欧洲公司
发明人W.J.T.克鲁肯;M.艾克尔坎普
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人李萌
摘要
本发明涉及一种用于运输基片的设备,所述基片是至少部分围绕环形开口的环形体(1)的形状,所述环形体具有相对于环形开口径向向外突伸的第一部段(2)和径向向内突伸的第二部段(3),其中,这些部段(2、3)分别具有热传递特性,其导致在相对于环形开口的平面的面法向存在轴向温度差时出现从相应的下宽侧面至相应的上宽侧面的经由所述部段的轴向的热传递。所述第一部段(2)的至少一种热传递特性与所述第二部段(3)的热传递特性不同,使得沿轴向在所述第一部段(2)中流过单位面积的热量小于在所述第二部段(3)中流过单位面积的热量,其中,热传递特性是这些部段(2、3)的至少一个沿轴向指向的表面的单位导热能力或辐射率。

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