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一种玻璃通孔加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110230850.0
  • IPC分类号:C03C15/00;C03C23/00
  • 申请日期:
    2021-03-02
  • 申请人:
    广东芯华微电子技术有限公司;广东佛智芯微电子技术研究有限公司
著录项信息
专利名称一种玻璃通孔加工方法
申请号CN202110230850.0申请日期2021-03-02
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-29公开/公告号CN113045209A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C15/00IPC分类号C;0;3;C;1;5;/;0;0;;;C;0;3;C;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人广东芯华微电子技术有限公司;广东佛智芯微电子技术研究有限公司申请人地址
广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园内佛高科技智库中心A座科研楼A208-1室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东芯华微电子技术有限公司,广东佛智芯微电子技术研究有限公司当前权利人广东芯华微电子技术有限公司,广东佛智芯微电子技术研究有限公司
发明人崔成强;杨斌;罗绍根
代理机构广州鼎贤知识产权代理有限公司代理人刘莉梅
摘要
本发明公开一种玻璃通孔加工方法,包括:将待加工的平板玻璃置于碱性溶液超声清洗,用去离子水进行冲洗并干燥;采用激光对平板玻璃的目标区域进行照射;通过蚀刻液对平板玻璃进行刻蚀以形成通孔;对蚀刻后的平板玻璃进行超声清洗;按重量份计,蚀刻液按以下组份配制而成:氢氟酸40wt.%10~40份;纯水50~200份;辅酸1~40份;盐0.1~10份;表面活性复配剂0.05~5份;表面活性复配剂由表面活性剂与醋酸或含有1~3个碳原子的醇按照1:1~10比例复配而成;表面活性剂为辛基苯基聚氧乙烯醚、十六烷基三甲基氯化铵、α‑烯基磺酸钠、聚乙二醇辛基苯基醚中的一种或多种。该加工方法打孔良率高,且孔壁光滑规整。

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