基板搬运系统

发明专利无效专利

申请号：
CN03159314.3
IPC分类号：--
申请日期：
2003-09-03
申请人：
三菱电机株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板搬运系统
申请号	CN03159314.3	申请日期	2003-09-03
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-29	公开/公告号	CN1532128
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三菱电机株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三菱电机株式会社	当前权利人	三菱电机株式会社
发明人	堀卓司
代理机构	上海专利商标事务所	代理人	谢喜堂

摘要

一种基板搬运系统，配置2台(图中为(1A、1B))从盒(11)将基板(10)搬出的基板输出装置(1)，并配置有承接从各输出装置(1A、1B)输出的基板(10)并将基板位置滑移至流程装置(40)的中心的移动式基板搬运传送器(2)。而且，由移动式基板搬运传送器(2)承接基板(10)，并在流程装置(40)的前面配置对搬运高度进行升降的升降式基板搬运传送器(4)以及从升降式基板搬运传送器(4)承接基板(10)并向流程装置(40)供给基板(10)的双层结构的带升降功能的双层升降式基板搬运传送器(5)。本发明可满足流程装置的基板搬运条件，满足所需的处理能力，并能消除产品质量下降的原因，降低初期成本及运行成本，可构筑作业性良好的流水线。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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