一种表面处理设备

发明专利无效专利

申请号：
CN201510350193.8
IPC分类号：G01B7/06;C23C14/35;C23C14/54
申请日期：
2015-06-23
申请人：
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种表面处理设备
申请号	CN201510350193.8	申请日期	2015-06-23
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2015-09-09	公开/公告号	CN104894524A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 7/004，G01B 7/12优先）〔6〕 G01B7/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
发明人	刘晓伟;丁向前;刘耀;白金超;郭总杰
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本发明涉及表面处理领域，公开一种表面处理设备，包括成膜腔室和设置在成膜腔室内部的挡板，还包括设置于挡板表面的金属片，金属片与挡板之间电绝缘；检测模块，用于当金属片被施加垂直于金属片的磁场和垂直于磁场方向的电流时检测金属片形成的感应电动势；与所述检测模块信号连接的处理模块，根据电流、磁场、以及电动势信息获得金属片的厚度信息，上述表面处理设备中，通过检测模块对金属片上形成感生电动势，处理模块实时获得金属片厚度及单位时间内厚度变化情况，进而能够获得金属片上的成膜速率，并且可以判断整个设备腔体内的成膜速率以及挡板寿命，实现对成膜腔室内成膜速率的实时监控和对挡板寿命的监控，并且成本廉价，操作简单。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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