破裂检测机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420468448.1
IPC分类号：G01N21/88;G01N21/958
申请日期：
2014-08-19
申请人：
弘塑科技股份有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	破裂检测机构
申请号	CN201420468448.1	申请日期	2014-08-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;8查看分类表>
申请人	弘塑科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾新竹市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	弘塑科技股份有限公司	当前权利人	弘塑科技股份有限公司
发明人	刘文明;陈薇云
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	李昕巍;赵根喜

摘要

一种破裂检测机构，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上，转动件连接于第一驱动装置，第一驱动装置能驱动转动件转动，转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置；由此，可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出，且可降低成本，并使检测功能提升。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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