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防止半导体硅片下机过程中掉落的装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120506692.2
  • IPC分类号:B65G49/07
  • 申请日期:
    2021-03-10
  • 申请人:
    宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称防止半导体硅片下机过程中掉落的装置
申请号CN202120506692.2申请日期2021-03-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G49/07IPC分类号B;6;5;G;4;9;/;0;7查看分类表>
申请人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请人地址
宁夏回族自治区银川市经济技术开发区光明西路28号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司当前权利人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
发明人刘波;历莉;赵延祥;程博;王忠保
代理机构宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙)代理人孙彦虎
摘要
一种防止半导体硅片下机过程中掉落的装置,包括防掉机构,防掉机构包括第一主体、第二主体、锁紧部件、夹持部件,第一主体的底部与第二主体的底部铰接,锁紧部件包括第一锁紧板、第二锁紧板,第一锁紧板的一端与第一主体的侧部连接,第一锁紧板的自由端设有凸起,第二锁紧板的一端与第二主体的侧部连接,第二锁紧板的自由端设有凹槽,夹持部件包括第一夹持板、第二夹持板,第一夹持板设于第一主体的顶部,第二夹持板设于第二主体的顶部,第一夹持板、第二夹持板均呈倒立的“L”形,第一主体和第二主体相对可闭合或张开,在锁紧部件的作用下,以将晶棒包覆其内,并利用夹持部件与下料小车可拆卸固定,可以有效防止晶棒在转用过程中掉落。

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