一种长尺寸的ITO旋转靶筒烧结方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110880866.6
IPC分类号：C04B35/64;C04B35/457;F27D5/00
申请日期：
2021-08-02
申请人：
芜湖映日科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种长尺寸的ITO旋转靶筒烧结方法
申请号	CN202110880866.6	申请日期	2021-08-02
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-05	公开/公告号	CN113603494A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/64 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/622 形成工艺；准备制造陶瓷产品的无机化合物的加工粉末〔6〕 C04B35/64 焙烧或烧结工艺（C04B 33/32优先）〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;6;4;;;C;0;4;B;3;5;/;4;5;7;;;F;2;7;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人	芜湖映日科技股份有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市中国（安徽）自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	芜湖映日科技股份有限公司	当前权利人	芜湖映日科技股份有限公司
发明人	曾探;王志强;盛明亮;曾墩风;马建保;石煜
代理机构	南京正联知识产权代理有限公司	代理人	杨静

摘要

本发明提供一种长尺寸的ITO旋转靶筒烧结方法，首先通过方形的中间带有贯通圆孔的氧化铝承烧板来放置靶筒，这样气流可以从靶材内壁均匀对流，温度均匀性好；再通过采用两个碳化硅筒上下叠放在一起套在靶筒外，碳化硅筒中部均匀分布四个方孔，下方碳化硅筒放在氧化铝承烧板周围的氧化铝垫块上，这样确保在气氛烧结的过程中，靶筒四周的温度均匀性好，烧结过程中，气流可以从碳化硅筒底部中间均匀对流，并且避免氧气直吹；最后通过烧结曲线烧结，烧结升温时间延长和降温时间延长，使靶筒收缩均匀，能够正常烧结长度750‑1000mm的ITO旋转靶筒，且直线度良好不易弯曲，不需要切割，可直接进行机加工。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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