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包括半导体材料的空间光调制器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200480044874.1
  • IPC分类号:G02B26/08
  • 申请日期:
    2004-12-21
  • 申请人:
    麦克罗尼克激光系统公司
著录项信息
专利名称包括半导体材料的空间光调制器
申请号CN200480044874.1申请日期2004-12-21
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2008-02-06公开/公告号CN101120278
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8查看分类表>
申请人麦克罗尼克激光系统公司申请人地址
瑞典泰比 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人麦克罗尼克激光系统公司当前权利人麦克罗尼克激光系统公司
发明人托比约恩·桑德斯特罗姆
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人彭久云
摘要
本发明的一方面包括用于抵抗具有静电激励器的微镜装置的偏转漂移的稳定方法,该方法包括如下动作:提供激励器,该激励器包括为所述微镜以及在所述微镜下面的至少一个电极的至少两个构件,所述至少两个构件中的至少一个由半导体材料形成,在所述至少一个半导体构件上设置面向所述激励器的另一构件的表面层,所述表面层具有1017cm3或更高的载流子密度。

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