一种碳纳米管探针的制备方法

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专利名称	一种碳纳米管探针的制备方法
申请号	CN202110464872.3	申请日期	2021-04-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-10	公开/公告号	CN113376406A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q60/38 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q60/00 特殊类型的SPM 〔扫描探针显微术〕或其设备；其基本组成〔2010.01〕 G01Q60/24 AFM 〔原子力显微术〕或其设备，例如AFM探针〔2010.01〕 G01Q60/38 探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;6;0;/;3;8;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	杨树明;程碧瑶;邓惠文;赵书浩;李少博;王飞
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	闵岳峰

摘要

本发明公开了一种碳纳米管探针的制备方法，包括步骤：1)在扫描探针显微镜探针的尖端生长碳纳米管束；2)利用聚焦离子束系统对生长有碳纳米管束的探针进行加工得到细长的碳纳米管尖端。本发明能够得到长径比较大的扫描探针显微镜的探针，对高深宽比复杂微细结构的测量具有高精度的测量能力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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