半导体制造厂厂区的配置形态和配置方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02124363.8
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-12
申请人：
李珩铭

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体制造厂厂区的配置形态和配置方法
申请号	CN02124363.8	申请日期	2002-06-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-12-31	公开/公告号	CN1464157
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	李珩铭	申请人地址	台湾省台北市康宁路3段189巷159弄9号4楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	李珩铭	当前权利人	李珩铭
发明人	李珩铭
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	任永武

摘要

一种半导体制造厂厂区的配置形态，它包含七个主要区域：中央正六边形区域、周边左右四个等角六边形区域以及周边上下两个可与邻近六边形相契合的梯形区域。该配置形态可将与物流最相关的制程区置于厂区中央并可藉由各区域间以最短的直线距离来规划区间的自动化物料搬运系统以联系各区内的暂存区，进而有效提升物料搬运的效率。此外，可针对各制程区在面积上的需求、不同数量规模的机台设备群组的布置等需求进行弹性规划以提升整体面积的利用率。此外，可满足区内机台设备在环境上以及功态上的需求并具有益于集中管理与控制。此外，这种配置形态还可简化建筑结构在施工上的难度，并可强化建筑结构的抗震性与稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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