基板处理装置和基板处理方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200380100012.1
IPC分类号：--
申请日期：
2003-11-14
申请人：
株式会社荏原制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板处理装置和基板处理方法
申请号	CN200380100012.1	申请日期	2003-11-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-10-19	公开/公告号	CN1685080
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社荏原制作所	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社荏原制作所	当前权利人	株式会社荏原制作所
发明人	胜冈诚司;关本雅彦;横山夫;渡边辉行;小川贵弘;小林贤一;宫崎充;本岛靖之;尾渡晃;大树
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明涉及适合于对基板进行镀敷处理或者把基板浸入到处理液中进行处理的基板处理装置。本发明的基板处理装置(1)，具有：放入和取出基板(W)用的装卸区(100)、用于清洗基板的清洗区(200)、及进行基板镀敷处理的镀敷处理区(300)，在上述装卸区(100)内布置了：具有干式的多个手(137、139)的基板传送机械手(130)、安放基板收纳架的装料口(110)、以及把基板从正面朝上切换到正面朝下的干式翻转机(150)。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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