双视场干涉仪

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821636041.X
IPC分类号：G01B11/00;G01B9/02
申请日期：
2018-10-09
申请人：
上海乾曜光学科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	双视场干涉仪
申请号	CN201821636041.X	申请日期	2018-10-09
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;9;/;0;2查看分类表>
申请人	上海乾曜光学科技有限公司	申请人地址	上海市嘉定区外冈镇恒永路328弄59号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海乾曜光学科技有限公司	当前权利人	上海乾曜光学科技有限公司
发明人	祝沛
代理机构	上海助之鑫知识产权代理有限公司	代理人	王风平

摘要

本实用新型提出一种双视场干涉仪，包括：激光点光源；分光棱镜，所述分光棱镜设在所述激光点光源的下面；分光镜，所述分光镜设在所述分光棱镜的下面；准直镜，所述准直镜设在所述分光镜的右面；反射标准镜，所述反射标准镜设在所述准直镜的右面；测试相机，所述测试相机设在所述分光棱镜的左面；辅助对准相机，所述辅助对准相机设在所述分光镜的左面。根据本实用新型的双视场干涉仪，可以在大视场辅助对准模式下保证零场调节的精度，同时可以在小视场高分辨率测试模式下，保证超大的测试量程和精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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