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一种机械手

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510614207.2
  • IPC分类号:B65G47/90;B65G49/06
  • 申请日期:
    2015-09-23
  • 申请人:
    京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种机械手
申请号CN201510614207.2申请日期2015-09-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-16公开/公告号CN105151776A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G47/90IPC分类号B;6;5;G;4;7;/;9;0;;;B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司当前权利人京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
发明人李锦坤;郭国明;顾楠轩;侯健;刘书雨;刘敏;郝西魁
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司代理人申健
摘要
本发明提供了一种机械手,涉及自动化领域,解决了现有机械手取放板材需要旋转从而占用空间大、产品的良率降低等问题。一种机械手,安装在真空反应设备的第一腔室和第二腔室之间,用于将第一腔室的板材移动至第二腔室;机械手包括;第一支撑结构,第一支撑结构上设置有沿水平面上第一方向的轨道,第一腔室和第二腔室位于轨道相对的两端;手臂,手臂安装在第一支撑结构上,用于承载板材,手臂沿轨道可移动;垂直移动机构,第一支撑结构和手臂安装在垂直移动机构上,垂直移动机构可驱动第一支撑结构和手臂在垂直方向上移动。

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