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一种半导体尺寸的测量计算方法、装置及计算机存储介质

发明专利有效专利

申请号：
CN202110744197.X
IPC分类号：G06F17/12;G06F17/14;G06F17/16;G06F17/17
申请日期：
2021-07-01
申请人：
深圳市埃芯半导体科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种半导体尺寸的测量计算方法、装置及计算机存储介质
申请号	CN202110744197.X	申请日期	2021-07-01
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-09-21	公开/公告号	CN113420260A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F17/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F17/00 特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法〔6〕 G06F17/10 复杂数学运算的〔6〕 G06F17/11 用于解决方程式的〔6〕 G06F17/12 联立方程式的〔6〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;7;/;1;2;;;G;0;6;F;1;7;/;1;4;;;G;0;6;F;1;7;/;1;6;;;G;0;6;F;1;7;/;1;7查看分类表>
申请人	深圳市埃芯半导体科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙华区观澜街道库坑社区库坑观光路1310号喷油车间6栋101 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳市埃芯半导体科技有限公司	当前权利人	深圳市埃芯半导体科技有限公司
发明人	禇汉友;张雪娜;洪峰;李卓;张丽娟;袁方琼;王岚
代理机构	深圳市威世博知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	时乐行

摘要

本申请公开了一种半导体尺寸的测量计算方法、装置及计算机存储介质，涉及测量技术领域。该测量计算方法包括：获取半导体的特性参数；基于特性参数和严格耦合波分析法，构建耦合波方程组；基于帕德近似法，对耦合波方程组进行求解，以得到半导体的结构尺寸。通过这种方式，能够加快对该耦合波方程的求解，进而提高半导体尺寸的测量计算速度。

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