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一种限制结构、限制装置和蒸镀系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721089456.5
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/54
  • 申请日期:
    2017-08-29
  • 申请人:
    京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种限制结构、限制装置和蒸镀系统
申请号CN201721089456.5申请日期2017-08-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司申请人地址
北京市朝阳区酒仙桥路10号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司当前权利人京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
发明人段廷原;邹清华;姚固
代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司代理人罗瑞芝;陈源
摘要
本实用新型提供一种限制结构、限制装置和蒸镀系统。该限制结构包括设置于同一平面上的第一调节结构和第二调节结构,第一调节结构与第二调节结构的一侧边相对,且第一调节结构与第二调节结构相互间隔形成间隔区域,且第一调节结构和第二调节结构能相对移动,以调节间隔区域的范围。该限制结构通过设置第一调节结构和第二调节结构,且使第一调节结构和第二调节结构能够相对移动,能够调节第一调节结构与第二调节结构之间形成的间隔区域的范围,从而调节蒸镀源的蒸镀范围,相对于现有的无法调节其所限制蒸镀范围的限制板结构,本实施例中的限制结构能够调节蒸镀形成的膜厚更加均匀,从而提高蒸镀产品的性能,并增强蒸镀产品的竞争力。

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