玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810062585.4
IPC分类号：G01N35/00;G01N37/00
申请日期：
2008-06-17
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法
申请号	CN200810062585.4	申请日期	2008-06-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2008-10-29	公开/公告号	CN101294972
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N35/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N35/00 不限于用G01N 1/00至G01N 33/00中任何单独一组提供的方法或材料所进行的自动分析；及材料的传送〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;3;5;/;0;0;;;G;0;1;N;3;7;/;0;0查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	何巧红;陈双
代理机构	杭州中成专利事务所有限公司	代理人	盛辉地

摘要

本发明提供了一种玻璃微-纳流控一体化芯片的制作方法，其特征是：采用二次刻蚀技术，先利用标准紫外光刻，将掩膜中的微米通道图案转移至涂有铬层和光胶层的玻璃基片上，通过化学湿刻蚀在玻璃基片上形成微米通道。然后在基片上重新甩上光胶，再次利用标准紫外光照和化学湿法刻蚀，在玻璃基片的相应位置形成纳米通道。最后利用室温封合技术，与另外一片相同材料的玻璃盖片封合，形成微-纳米通道一体化的玻璃芯片。本发明的优点是加工方法简便易行，制备工艺简单，成本低，实用性强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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