反应腔室烘烤的实时控制方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201210495300.2
IPC分类号：--
申请日期：
2012-11-28
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	反应腔室烘烤的实时控制方法及装置
申请号	CN201210495300.2	申请日期	2012-11-28
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2014-06-11	公开/公告号	CN103853055A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	边国栋
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张大威

摘要

本发明提出一种反应腔室烘烤的实时控制方法，用于获得反应腔室的真空环境；包括以下步骤：检测反应腔室的初始压力；开始烘烤加温；实时获取反应腔室的压力，从而得到反应腔室的压力变化趋势；根据反应腔室的压力变化趋势判断反应腔室所处的压力状态；当压力状态达到预定状态时结束烘烤。本发明实施例的反应腔室烘烤的实时控制方法具有BakeOut时间短、效率高的优点，并能够保证反应腔室满足工艺要求的优点。本发明还提出了一种反应腔室烘烤的实时控制装置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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