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一维闭环微纳米振动台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710399333.X
  • IPC分类号:B06B1/06;G01H17/00
  • 申请日期:
    2017-05-31
  • 申请人:
    合肥工业大学
著录项信息
专利名称一维闭环微纳米振动台
申请号CN201710399333.X申请日期2017-05-31
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2017-09-19公开/公告号CN107175194A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B06B1/06IPC分类号B;0;6;B;1;/;0;6;;;G;0;1;H;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人合肥工业大学申请人地址
安徽省合肥市包河区屯溪路193号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人合肥工业大学当前权利人合肥工业大学
发明人李瑞君;雷英俊;张连生;范光照
代理机构安徽省合肥新安专利代理有限责任公司代理人何梅生
摘要
本发明公开了一种一维闭环微纳米振动台,是以铍铜簧片作为弹性部件,在铍铜簧片的上表面设置工作台面构成弹性结构,使工作台面仅能在竖直方向形成振动位移;在工作台面的底面设置转接板,转接板与压电陶瓷致动器的位移输出头呈T形连接,由压电陶瓷致动器通过转接板驱动工作台面竖向运动;利用迈克尔逊干涉仪实时检测转接板的运动状态作为检测信号,信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器输出控制信号,实现实验台的闭环控制。本发明能够获得高精度的微纳振动,同时具有振幅和频率范围宽、输出振动重复性高、成本低、装调方便以及可以闭环控制等优势。

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