一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器

发明专利有效专利

申请号：
CN202010368420.0
IPC分类号：H03H9/13;H03H3/02;H03H9/02
申请日期：
2020-04-30
申请人：
华南理工大学

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专利名称	一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器
申请号	CN202010368420.0	申请日期	2020-04-30
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-10	公开/公告号	CN111404508A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/13 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/02 零部件〔3〕 H03H9/125 激励装置，例如电极，线圈〔3〕 H03H9/13 用于由压电或电致伸缩材料构成的网络（H03H 9/145优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;1;3;;;H;0;3;H;3;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;0;2查看分类表>
申请人	华南理工大学	申请人地址	广东省广州市天河区五山路381号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华南理工大学	当前权利人	华南理工大学
发明人	李国强;刘鑫尧;衣新燕;张铁林;赵利帅;刘红斌
代理机构	广州粤高专利商标代理有限公司	代理人	何淑珍;冯振宁

摘要

本发明公开了一种双层五边形电极的薄膜体声波谐振器。所述薄膜体声波谐振器从上至下包括顶电极、压电层、底电极构成的压电振荡堆结构，以及支撑层（连接层）和衬底。本发明所述的顶电极由内外两层五边形构成，由同一圆周的内外界五边形经一定角度旋转获得。本发明所述的顶电极外层厚度高于内层五边形厚度，在边缘处形成台阶边框，其余位置均为平面，且内外五边形任意两边均不平行，从而形成非对称图形，使得横向寄生的声波产生衰减和分散。本发明通过设计电极层的形状尺寸，在不增加工艺步骤的前提上抑制谐振器的横向剪切波，提高谐振器的Q值，优化薄膜体声波谐振器谐振特性。

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