用于超声定位与测距的微声学器件

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200420066617.5
IPC分类号：--
申请日期：
2004-06-08
申请人：
清华大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于超声定位与测距的微声学器件
申请号	CN200420066617.5	申请日期	2004-06-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市－82信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	任天令;朱一平;杨轶;刘理天
代理机构	北京众合诚成知识产权代理有限公司	代理人	李光松

摘要

本实用新型公开了属于半导体器件领域的一种用于超声定位与测距的微声学器件，由制作有铁电薄膜等多层薄膜材料所构成。自下而上依次为硅杯衬底、热氧化的二氧化硅、钛层－下电极铂层、PZT薄膜层/AlN薄膜层、上电极铂层、等离子增强化学气相淀积的二氧化硅层、和铝电极。该器件既可作为麦克风也可作为扬声器使用能实现“薄膜振动－电信号”之间的有效互换。可实现超声定位系统和超声测距系统的搭建。具有很高的可靠性和抗干扰性，不易受温度、湿度等影响。同时本发明将应用于超声定位和测距系统的微声学器件，结合MEMS加工技术，能很好的提高产品的可靠性，极大地促进了产品的微型化和集成化，并有利于大批量的生产，市场前景巨大。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供