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光致聚合物组合物、衍射光栅及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010313822.0
IPC分类号：G03F7/004;G03F7/027;G02B5/18;G03H1/00
申请日期：
2020-04-20
申请人：
杭州光粒科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光致聚合物组合物、衍射光栅及其制备方法
申请号	CN202010313822.0	申请日期	2020-04-20
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-22	公开/公告号	CN113534607A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;2;B;5;/;1;8;;;G;0;3;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人	杭州光粒科技有限公司	申请人地址	浙江省杭州市滨江区长河街道聚才路88号1幢第2层201室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州光粒科技有限公司	当前权利人	杭州光粒科技有限公司
发明人	邱毅伟;魏一振;张卓鹏
代理机构	北京林达刘知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	刘新宇;李茂家

摘要

本发明涉及一种光致聚合物组合物、衍射光栅及其制备方法所述组合物包括如下组分：书写单体，基质，以及光引发剂体系，其中，所述光引发剂体系包括光敏型染料化合物和共引发剂，所述光敏型染料化合物和共引发剂的重量比为1:(10～3)，所述光敏型染料化合物包括三芳基甲烷染料。

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