一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310524344.8
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/673;C23C16/458
申请日期：
2013-10-29
申请人：
宁夏银星能源股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法
申请号	CN201310524344.8	申请日期	2013-10-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-02-05	公开/公告号	CN103560171A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人	宁夏银星能源股份有限公司	申请人地址	宁夏回族自治区银川市西夏区六盘山西路166号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁夏银星能源股份有限公司	当前权利人	宁夏银星能源股份有限公司
发明人	谢余才;陈刚刚;李昕洁;许莉
代理机构	宁夏专利服务中心	代理人	赵明辉

摘要

本发明涉及一种太阳能电池片石墨舟饱和的方法。其特点是，包括如下步骤：（1）将21片石墨舟送进炉管；（2）抽真空，时间3600s；（3）通入氨气，温度控制在425℃，放电功率7200w，持续240秒；（4）抽真空，通入氮气7500sccm，时间20秒，再抽真空，重复两次后恢复；（5）抽真空，通入氨气7500sccm，温度控制在420‑430℃，预沉积120秒，再通入硅烷，持续放电9000‑10000秒；（6）停止通气，抽真空，至压力达到35毫托时，通入氮气6000sccm，再抽真空，重复两次后恢复；（7）卸料即可。采用本发明的方法后，可以避免石墨舟饱和不充分，导致工艺过程中产生色差片的缺陷。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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