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一种半导体结构及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010428538.8
  • IPC分类号:H01L21/8242;H01L27/108
  • 申请日期:
    2020-05-20
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称一种半导体结构及其制备方法
申请号CN202010428538.8申请日期2020-05-20
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-26公开/公告号CN113707608A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8242
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0;8查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人朱一明;应战;张强
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人潘朱慧
摘要
本发明提供一种半导体结构的制备方法,其特征是,包括:提供具有若干第一沟槽的衬底,相邻所述第一沟槽之间形成有第一图案;形成第一介质层,所述第一介质层至少覆盖所述第一图案的侧壁;隔断所述第一图案形成第二图案。其优点是:通过至少在第一图案的侧壁上形成第一介质层作为保护层,这样当对第一图案进行刻蚀形成第二图案时,由于第一图案的侧壁始终受到第一介质层的保护层的保护,由隔断形成的第二图案所构成的有源区的末端在刻蚀过程中就不容易遭到破坏。

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