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传送方法、传送装置、曝光方法和曝光装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201080023976.0
IPC分类号：G03F7/20
申请日期：
2010-05-26
申请人：
株式会社尼康

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	传送方法、传送装置、曝光方法和曝光装置
申请号	CN201080023976.0	申请日期	2010-05-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-09	公开/公告号	CN102449551A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	山口麻衣子
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	杜诚;李春晖

摘要

传送膜状基底(P)的阶梯型平台装置(28)包括：多个杆(30A-30L)，其纵向方向对准与膜状基底的移动方向正交的方向以支撑膜状基底；链(32A、32B)，其沿着闭环轨迹接合杆；以及驱动电机(36A、36B)，其经由链沿着此环形轨迹移动杆。

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