一种具有高质量提纯多晶硅的多晶炉

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200920234660.0
IPC分类号：C01B33/037;C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2009-08-12
申请人：
管悦

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种具有高质量提纯多晶硅的多晶炉
申请号	CN200920234660.0	申请日期	2009-08-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/037 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/037 纯化（用区域熔融入C30B 13/00）〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;3;7;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	管悦	申请人地址	江苏省连云港市海州开发区瀛州南路122号科创公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	管悦	当前权利人	管悦
发明人	管宇骎;管悦;王波;管文礼
代理机构	南京众联专利代理有限公司	代理人	王彦明

摘要

一种组合式高效多晶硅炉，设有炉体，炉体的上部设有炉门，炉体内设有保温笼，装料坩埚放置在保温笼底部的承接台上，保温笼设有隔热底板、侧隔热板、隔热上盖，在保温笼内设有四周加热器和下加热器，下加热器设置在承接台与保温笼的隔热底板之间，在保温笼隔热底板的中部设有热门，在热门的下面设有冷却板，保温笼的隔热上盖与炉体的炉门固定连接，在炉门的中部设有观察窗，在观察窗的侧部设有惰性气体吹气管，在保温笼的隔热上盖上设有与观察窗相通的观察孔、与惰性气体吹管相通的吹气孔。长晶时先开启热门，由下加热器、四周加热器和冷却板组成一个新的温度场，同时向炉内吹惰性气体，保证了晶体生长质量，也缩短整个工艺时间，能耗低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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