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检测设备及检测方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110871461.6
  • IPC分类号:G01N21/956;G01N21/01
  • 申请日期:
    2021-07-30
  • 申请人:
    深圳中科飞测科技股份有限公司
著录项信息
专利名称检测设备及检测方法
申请号CN202110871461.6申请日期2021-07-30
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-11-05公开/公告号CN113607754A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/956IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;9;5;6;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人深圳中科飞测科技股份有限公司申请人地址
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳中科飞测科技股份有限公司当前权利人深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人陈鲁;王天民;张嵩
代理机构深圳市沈合专利代理事务所(特殊普通合伙)代理人吴京隆
摘要
本申请公开了一种检测设备。检测设备用于检测工件,工件包括第一区域及第二区域,第一区域的反射率大于第二区域的反射率。检测设备包括第一探测装置及第二探测装置。第一探测装置用于以第一照明光投射至第一区域,并采集包括第一区域的第一图像。第二探测装置用于以第二照明光投射至第二区域,并采集包括第二区域的第二图像,第一照明光的强度小于第二照明光的强度。本申请还公开了一种检测方法。对于反射率较大的第一区域,利用第一探测装置,以强度较小的第一照明光照射后,采集包括第一区域的第一图像,对于反射率较小的第二区域,利用第二探测装置,以强度较大的第二照明光照射后,采集包括第二区域的第二图像,提高检测结果的准确性。

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