用于载具平整度测量的夹具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820051117.6
IPC分类号：G01B5/02;G01B5/28
申请日期：
2018-01-12
申请人：
苏州日月新半导体有限公司

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著录项信息

专利名称	用于载具平整度测量的夹具
申请号	CN201820051117.6	申请日期	2018-01-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B5/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B5/00 以采用机械方法为特征的计量设备（包括在大组G01B 3/00中的各式量具本身入G01B 3/00）〔2〕 G01B5/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 5/004，G01B 5/08优先）〔6〕	IPC分类号	G;0;1;B;5;/;0;2;;;G;0;1;B;5;/;2;8查看分类表>
申请人	苏州日月新半导体有限公司	申请人地址	江苏省苏州市苏州工业园区苏虹西路188号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州日月新半导体有限公司	当前权利人	苏州日月新半导体有限公司
发明人	周猛;赵冬冬
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	林斯凯

摘要

本实用新型涉及用于载具平整度测量的夹具。所述夹具包括：本体，其具有检测通道，其中所述本体内具有构成所述检测通道的底面的光滑平面以及构成所述检测通道的侧面的第一内侧壁和第二内侧壁，所述第一内侧壁与所述第二内侧壁之间的距离定义为所述检测通道的宽度，所述第一内侧壁或者第二内侧壁的高度定义为所述检测通道的高度；当所述载具沿着所述检测通道通过时，所述载具的待测面贴合于所述光滑平面；其中所述检测通道的宽度不小于所述载具的宽度，所述检测通道的高度不小于所述载具的厚度且不大于所述载具的厚度与所述载具的厚度的最大容忍公差值之和。因此，只要载具能穿过夹具即表示载具平整度合格，极大提高了测量效率并降低了误判率。

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