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一种基于石墨烯的混杂等离子波导

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911309163.7
  • IPC分类号:G02B6/10
  • 申请日期:
    2019-12-18
  • 申请人:
    北京交通大学
著录项信息
专利名称一种基于石墨烯的混杂等离子波导
申请号CN201911309163.7申请日期2019-12-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-22公开/公告号CN113009620A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B6/10IPC分类号G;0;2;B;6;/;1;0查看分类表>
申请人北京交通大学申请人地址
北京市海淀区西直门外上园村3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京交通大学当前权利人北京交通大学
发明人贺雪晴;周夏飞;宁提纲;裴丽;郑晶晶;李晶
代理机构北京市诚辉律师事务所代理人杨帅峰
摘要
本发明实施例提供一种基于石墨烯的混杂波导结构,包括:上半波导结构和下半波导结构;所述下半波导结构包括位于下层的低折射率电介质110和平铺在所述下层低折射率电介质的石墨烯120;所述上半波导结构包括位于石墨烯之上的低折射率电介质110和位于所述低折射率电介质110之上的高折射率电介质130;所述低折射率电介质110的宽度和高折射率电介质130的宽度均小于30μm;所述低折射率电介质110和高折射率电介质130的交界面处设置有向下凹陷的凹槽,凹槽内为高折射率电介质130;所述低折射率电介质110为高密度聚乙烯(HDPE),所述高折射率材料130为砷化镓(GaAs)。

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