一种硅片检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110706393.8
IPC分类号：G01N21/88
申请日期：
2021-06-24
申请人：
博众精工科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硅片检测装置
申请号	CN202110706393.8	申请日期	2021-06-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-24	公开/公告号	CN113433135A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8查看分类表>
申请人	博众精工科技股份有限公司	申请人地址	江苏省苏州市吴江经济技术开发区湖心西路666号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	博众精工科技股份有限公司	当前权利人	博众精工科技股份有限公司
发明人	卢亚宾;王维;王聚;杜若愚;刘中海;陈淼淼;马行;程智;韩鑫;顾一鹏;朱江兵;梁坤;牛广升
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	郭利娜

摘要

本发明涉及硅片检测设备技术领域，公开了一种硅片检测装置。其包括：图像采集件、挡板组件和光源组件。图像采集件用于采集待检测硅片上采集区域的图像；挡板组件置于图像采集件与待检测硅片之间，挡板组件包括第一挡板；光源组件包括两个光源，其中一个光源位于第一挡板的第一侧，另一个光源以及图像采集件位于第一挡板的第二侧，第一侧与第二侧相背设置，位于第一侧的光源发出的光线照射至第一挡板上并能够通过第一挡板散射至采集区域内，位于第二侧的光源出的光线能够由第二侧达到采集区域内。本发明实现了采集到的图像灰度分布均匀，提升了图像的对比度，更易于分析出硅片的缺陷，提高了硅片的检测精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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