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存储单元、存储器阵列及形成存储单元的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200610000204.0
IPC分类号：H01L29/788;H01L27/112;H01L27/115;H01L27/105
申请日期：
2006-01-04
申请人：
旺宏电子股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	存储单元、存储器阵列及形成存储单元的方法
申请号	CN200610000204.0	申请日期	2006-01-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-04	公开/公告号	CN1841782
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L29/788 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换，并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒，例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器；半导体本体或其电极的零部件（H01L 31/00至H01L 47/00，H01L 51/05优先；除半导体或其电极之外的零部件入H01L 23/00；由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2，6〕 H01L29/66 按半导体器件的类型区分的〔2〕 H01L29/68 只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的（H01L 29/96优先）〔2〕 H01L29/76 单极器件〔2〕 H01L29/772 场效应晶体管〔6〕 H01L29/78 由绝缘栅产生场效应的〔2〕 H01L29/788 带有浮栅的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;9;/;7;8;8;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0;5查看分类表>
申请人	旺宏电子股份有限公司	申请人地址	台湾省新竹县新竹科学工业园区力行路16号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	旺宏电子股份有限公司	当前权利人	旺宏电子股份有限公司
发明人	王嗣裕;吕函庭
代理机构	北京连和连知识产权代理有限公司	代理人	王永红

摘要

本发明披露存储单元连同其阵列及操作方法，上述这些存储单元包含：半导体基板，其具有设置于该基板的表面下且由通道区分离的源极区及漏极区；隧道介电结构，其设置于该通道区上，该隧道介电结构包含具有小空穴穿隧势垒高度的至少一层；电荷储存层，其设置于该隧道介电结构上；绝缘层，其设置于该电荷储存层上；及栅极电极，其设置于该绝缘层上。

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