基板处理装置发明专利
申请号：CN02127003.1
LOC分类号:
IPC结构图谱：
- B作业；运输
- B2成型
- B25手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
- B25J机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕
- B25J5/00装在车轮上或车厢上的机械手（B25J 1/00优先；程序控制机械手入B25J 9/00）
- B25J5/02沿导轨移动的
