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具有电容式剪力传感器的抛光系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201980062694.2
IPC分类号：B24B49/00;H01L21/67;H01L21/304;H01L21/66
申请日期：
2019-07-25
申请人：
应用材料公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有电容式剪力传感器的抛光系统
申请号	CN201980062694.2	申请日期	2019-07-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-07	公开/公告号	CN112770872A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B49/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B49/00 用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的（B24B 33/06，B24B 37/005优先；如果适合于其他机床，B23Q 15/00到B23Q 17/00优先）〔1，2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;4;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	尼古拉斯·韦斯威尔;周志忠;多米尼克·J·本维奴
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	徐金国;赵静

摘要

一种化学机械抛光系统包括：压板，用以支撑抛光垫；承载头，用以保持基板并且使基板的下表面与抛光垫接触；和原位摩擦监测系统，包括摩擦传感器。摩擦传感器包括：垫部分，所述垫部分具有基板接触部分，基板接触部分具有与基板的下表面接触的上表面；和一对电容式传感器，位于基板接触部分的下方并且位于基板接触部分的相对侧上。

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