一种外置式ICP激发装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202221871263.6
IPC分类号：H01J37/32;H05H1/46
申请日期：
2022-07-13
申请人：
江苏迈纳德微纳技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种外置式ICP激发装置
申请号	CN202221871263.6	申请日期	2022-07-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;5;H;1;/;4;6查看分类表>
申请人	江苏迈纳德微纳技术有限公司	申请人地址	江苏省无锡市新吴区菱湖大道228号天安智慧城3-104 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏迈纳德微纳技术有限公司	当前权利人	江苏迈纳德微纳技术有限公司
发明人	徐涛;左雪芹
代理机构	无锡科嘉知信专利代理事务所（普通合伙）	代理人	顾翰林

摘要

本实用新型涉及一种ICP激发装置结构改进，特别涉及一种外置式ICP激发装置；包括石英管(1)和铜管螺旋线圈(2)，铜管螺旋线圈(2)盘绕在石英管(1)上，所述石英管(1)上部通过密封装置与进气法兰(3)连通，所述石英管(1)下部通过密封装置与出气法兰(4)连接，所述进气法兰(3)上设有进气口(5)，所述密封装置包括两个密封垫(6)，两个密封垫(6)之间设有负压接入口(7)，将ICP激发装置设计成外置式的结构设计,从而使得CIP发生器设备的维护和更换更加方便，密封装置外接负压的方式可以保证密封效果的同时，确保经过电离后的气体不会出现外溢，绝缘导气结构可使石英管具有良好绝缘效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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