带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备

实用新型专利无效专利

申请号：
CN202020770091.8
IPC分类号：B25J19/00;B25J11/00;C23C16/50
申请日期：
2020-05-11
申请人：
阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司

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专利名称	带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备
申请号	CN202020770091.8	申请日期	2020-05-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J19/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B25 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手 B25J 机械手；装有操纵装置的容器（单独采摘水果、蔬菜、啤酒花或类似作物的自动装置入A01D 46/30；外科用的针头操纵器入A61B 17/062；与滚轧机有关的机械手入B21B 39/20；与锻压机有关的机械手入B21J 13/10；夹持轮子或其部件的装置入B60B 30/00；起重机入B66C；用于核反应堆中所用的燃料或其他材料的处理设备入G21C 19/00；机械手与加有防辐射的小室或房间的组合结构入G21F 7/06）〔5〕 B25J19/00 与机械手配合的附属装置，例如用于监控、用于观察；与机械手组合的安全装置或专门适用于与机械手结合使用的安全装置（一般安全装置入F16P；一般防辐射装置入G21F）	IPC分类号	B;2;5;J;1;9;/;0;0;;;B;2;5;J;1;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人	阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司	申请人地址	江苏省盐城市阜宁经济开发区协鑫大道88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司	当前权利人	阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司
发明人	洪亚军;王森;陈东;曹祥;朱文荣
代理机构	苏州威世朋知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张炜平

摘要

本实用新型公开了一种带有清洁功能的机械手及管式PECVD设备，其中所涉及带有清洁功能的机械手包括承重臂及清洁机构，所述清洁机构具有固定设置于所述承重臂下侧且内部形成有空腔的本体部，所述本体部设置有与所述空腔连通以对所述空腔抽气或供气的气管连接口以及供所述空腔连通至外界的清洁口；基于本实用新型所提供带有清洁功能的机械手，在管式PECVD设备的具体应用场景中，通过对清洁机构的气管连接口进行抽气动作，可以将炉管内的碎片等异物吸附至本体部的空腔内，进而可在炉管外部进行碎片等异物的排出动作，如此可有效避免现有技术所存在耽误生产进程、污染及损伤炉管等问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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