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一种带有内加热器的PECVD系统

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200920166871.5
  • IPC分类号:C23C16/50;C23C16/24
  • 申请日期:
    2009-07-21
  • 申请人:
    深圳市宇光高科新能源技术有限公司
著录项信息
专利名称一种带有内加热器的PECVD系统
申请号CN200920166871.5申请日期2009-07-21
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/50IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;2;4查看分类表>
申请人深圳市宇光高科新能源技术有限公司申请人地址
广东省深圳市龙岗区龙城街道龙平西路鹏利泰工业区C栋二、三楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市宇光高科新能源技术有限公司当前权利人深圳市宇光高科新能源技术有限公司
发明人吴文基;郑泽文;刘丽娟
代理机构北京安博达知识产权代理有限公司代理人徐国文
摘要
本实用新型公开了一种带有内加热器的PECVD系统,包括真空室和置于真空室内的可移式等离子箱,所述真空室的外周四壁上设有加热板,所述可移式等离子箱至少为两个,各可移式等离子箱平行排列于真空室内,各可移式等离子箱之间设有用于使真空室内均匀受热的内加热器。此装置大大提高了单室沉积系统的产量,又避免传统加热方式造成的温度分布不均衡问题,本实用新型有效解决了在带有TCO的玻璃衬底上沉积的硅基薄膜的厚度不均匀性,提高了大面积硅基薄膜太阳电池的性能,为研发大面积PECVD薄膜沉积系统奠定了基础,有力推动硅薄膜电池技术产业化。

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