碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010240785.5
IPC分类号：C04B38/06;C04B35/565;C04B35/622;C04B35/624;C04B35/63;C04B35/634
申请日期：
2020-03-31
申请人：
中国建筑材料科学研究总院有限公司

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著录项信息

专利名称	碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法
申请号	CN202010240785.5	申请日期	2020-03-31
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-07-10	公开/公告号	CN111393180A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B38/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B38/00 多孔的砂浆、混凝土、人造石或陶瓷制品；其制造方法（用气体或气体发生材料处理矿渣入C04B 5/06）〔4，6〕 C04B38/06 烧除加入的物质〔4〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;8;/;0;6;;;C;0;4;B;3;5;/;5;6;5;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;4;;;C;0;4;B;3;5;/;6;3;;;C;0;4;B;3;5;/;6;3;4查看分类表>
申请人	中国建筑材料科学研究总院有限公司	申请人地址	北京市朝阳区管庄东里1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国建筑材料科学研究总院有限公司	当前权利人	中国建筑材料科学研究总院有限公司
发明人	刘海林;贾志辉;黄小婷;胡传奇;李荟
代理机构	北京鼎佳达知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张晓萍;刘铁生

摘要

本发明是关于一种碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法，该碳化硅陶瓷吸盘包括吸盘本体和与所述吸盘本体连接的吸盘底座，所述吸盘底座具有气体通道和抽气接口，所述吸盘本体的材质为多孔碳化硅陶瓷，所述吸盘底座的材质为致密碳化硅陶瓷；所述吸盘本体与所述吸盘底座通过有机粘结剂或者高温无机粘结剂粘结在一起。本发明通过采用凝胶注模法来制备多孔碳化硅陶瓷吸盘本体和致密碳化硅陶瓷吸盘底座，通过粘结或高温烧结工艺将两者复合得到碳化硅陶瓷吸盘。采用碳化硅材料制备的陶瓷吸盘具有超高的平面度(可达1微米)、不易变形，耐高温、耐酸碱腐蚀性能好等特点，可以满足集成电路制造装备高精度的使用要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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