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有机EL设备的制造方法及成膜装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201780004047.7
  • IPC分类号:H05B33/10;B05C9/12;B05D3/06;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/06
  • 申请日期:
    2017-03-08
  • 申请人:
    堺显示器制品株式会社
著录项信息
专利名称有机EL设备的制造方法及成膜装置
申请号CN201780004047.7申请日期2017-03-08
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-11-23公开/公告号CN108886855A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05B33/10IPC分类号H;0;5;B;3;3;/;1;0;;;B;0;5;C;9;/;1;2;;;B;0;5;D;3;/;0;6;;;G;0;9;F;9;/;3;0;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2;;;H;0;1;L;5;1;/;5;0;;;H;0;5;B;3;3;/;0;2;;;H;0;5;B;3;3;/;0;4;;;H;0;5;B;3;3;/;0;6查看分类表>
申请人堺显示器制品株式会社申请人地址
日本国大阪府堺市堺区匠町1番地 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人堺显示器制品株式会社当前权利人堺显示器制品株式会社
发明人岸本克彦
代理机构上海音科专利商标代理有限公司代理人刘香兰
摘要
本发明的有机EL设备的制造方法,包括:准备具有基板和排列在所述基板上的多个有机EL设备的元件基板的工序,和在所述元件基板上形成薄膜封装结构的工序;形成薄膜封装结构的工序包括:在元件基板上形成第一无机阻挡层的工序,使光固化性树脂在第一无机阻挡层上冷凝的工序,利用激光束照射光固化性树脂的被选择的多个区域并使光固化性树脂的至少一部分固化而形成光固化树脂层的工序,将光固化性树脂的未固化的部分除去的工序,以及在所述第一无机阻挡层上形成将光固化树脂层覆盖的第二无机阻挡层的工序。

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