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一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910979197.0
  • IPC分类号:C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02
  • 申请日期:
    2019-10-15
  • 申请人:
    河南科技大学
著录项信息
专利名称一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件
申请号CN201910979197.0申请日期2019-10-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-12-17公开/公告号CN110578115A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/06IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人河南科技大学申请人地址
河南省洛阳市涧西区西苑路48号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人河南科技大学当前权利人河南科技大学
发明人薛玉君;蔡海潮;李航;司东宏;贺江涛;刘春阳;杨芳;马喜强
代理机构郑州睿信知识产权代理有限公司代理人胡云飞
摘要
本发明涉及一种掺杂的硫化物复合薄膜及其制备方法、含有掺杂的硫化物复合薄膜的工件,该掺杂的硫化物复合薄膜由掺杂元素和硫化物组成,掺杂元素为Ce和Al,硫化物为WS2或MoS2;掺杂元素Ce的质量百分比为6.11‑14.27%,掺杂元素Al的质量百分比为1.13‑10.26%,余量为硫化物。本发明掺杂的硫化物复合薄膜力学性能得到了增强,继而表现出优异的耐磨损性能;该Ce和Al共掺杂的硫化物基复合薄膜的结晶强度较高,硬度和弹性模量均提高300%以上。

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