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半导体结构及其形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201611242261.X
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2016-12-28
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构及其形成方法
申请号CN201611242261.X申请日期2016-12-28
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2018-07-06公开/公告号CN108257917A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人李勇
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人高静;吴敏
摘要
一种半导体结构及其形成方法,方法包括:形成基底,包括衬底、位于衬底上的栅极结构、位于栅极结构两侧基底内的源漏掺杂区、以及位于基底上且覆盖栅极结构顶部的层间介质层;在栅极结构两侧层间介质层内形成露出源漏掺杂区的第一接触开口;对第一接触开口露出的源漏掺杂区进行预非晶化处理形成非晶层;对靠近源漏掺杂区的部分非晶层进行再结晶处理;在第一接触开口底部形成金属硅化物层;在第一接触开口内形成第一接触孔插塞。本发明通过再结晶处理,修复预非晶化处理的射程末端的缺陷,从而提高金属硅化物层的质量以及质量均一性,且可避免源漏掺杂区与体区发生导通的问题,减小体区漏电流。

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