靶材组件及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510330100.5
IPC分类号：C23C14/34;B23B1/00;B23B27/00
申请日期：
2015-06-15
申请人：
宁波江丰电子材料股份有限公司

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著录项信息

专利名称	靶材组件及其制作方法
申请号	CN201510330100.5	申请日期	2015-06-15
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-01-11	公开/公告号	CN106319456A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;B;2;3;B;1;/;0;0;;;B;2;3;B;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料股份有限公司	申请人地址	浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;张良进
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	高静;吴敏

摘要

一种靶材组件及其制作方法，本发明提供的靶材组件具有溅射面以及围绕所述溅射面的密封面；密封槽，开设于所述靶材组件密封面上，用于容纳密封部件，所述密封槽内部最宽处的尺寸大于所述密封槽开口处的尺寸。当将尺寸大于所述密封槽开口处的密封部件放置入所述密封槽内之后，所述密封部件卡在所述密封槽开口处内部，所述密封部件不容易从所述密封槽中脱出，有效提高所述靶材组件在所述沉积室中的真空度。本发明提供靶材组件的制作方法可以用于制作所述靶材组件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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