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化学气相沉积炉

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821327035.6
  • IPC分类号:C23C16/44;C23C16/30
  • 申请日期:
    2018-08-16
  • 申请人:
    广东先导稀材股份有限公司
著录项信息
专利名称化学气相沉积炉
申请号CN201821327035.6申请日期2018-08-16
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;3;0查看分类表>
申请人广东先导稀材股份有限公司申请人地址
安徽省滁州市琅琊区琅琊经济开发区内永阳路以东、南京路以西、安庆路以北、六安路以南 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽光智科技有限公司当前权利人安徽光智科技有限公司
发明人于金凤;朱刘
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型涉及一种化学气相沉积炉,一种化学气相沉积炉,其包括自下而上组装的用于盛放原料的一坩埚、配合坩埚使用的一坩埚盖、一沉积室、一收料盒、一导气管;沉积室包括若干沉积板,沉积板均竖直放置,若干沉积板包括居于两侧的侧边板和位于两侧边板之间的居间板,居间板为双面沉积板,侧边板为单面沉积板,侧边板靠近居间板的一侧可沉积,每一居间板上开设有若干透过孔,所有的居间板的开透过孔的位置相同。本化学气相沉积炉,对沉积炉的沉积室进行了改进,通过双面沉积的居间板,增大了沉积室的沉积面积,同时在居间板上开设有若干透过孔,所有的透过孔形成流通循环,增加产品在沉积室内的停留时间,进而提高了产品的转化率。

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