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一种多级浮动涡旋真空泵

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201220388368.6
  • IPC分类号:F04C23/00;F04C18/02
  • 申请日期:
    2012-08-07
  • 申请人:
    思科涡旋科技(杭州)有限公司
著录项信息
专利名称一种多级浮动涡旋真空泵
申请号CN201220388368.6申请日期2012-08-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F04C23/00IPC分类号F;0;4;C;2;3;/;0;0;;;F;0;4;C;1;8;/;0;2查看分类表>
申请人思科涡旋科技(杭州)有限公司申请人地址
浙江省杭州市滨江区江陵路88号6幢2楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人思科涡旋科技(杭州)有限公司当前权利人思科涡旋科技(杭州)有限公司
发明人倪诗茂
代理机构上海申新律师事务所代理人竺路玲
摘要
本实用新型公开一种多级浮动涡旋真空泵,包括若干真空泵,每一真空泵包括:一固定涡卷基座;一位于基座上的固定涡卷;以及一与固定涡卷做绕动运动的绕动涡卷;其中,位于固定涡卷外圈涡卷元件的端板上开设进气口,位于固定涡卷内圈涡卷元件的端板上开设排气口;排气口具有一排气阀组件,排气阀组件可开启或关闭所述排气口;每一下游的真空泵的进气口通过气管与相邻的上游的真空泵的排气口连接。使用本实用新型,下游真空泵从上游真空泵的排气口中抽气,以此降低上游真空泵排气口下容积内的压力。打破进气口和排气口的动态平衡。从排气口向进气口的回流减少,增加了从进气口抽取的气体,从而降低上游进气口的气体压力,提高进气口的极限真空度。

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