一种Mo-Si-B/TiN复合涂层及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110265206.7
IPC分类号：C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02;B22F7/04;B22F9/04;B22F3/105
申请日期：
2021-03-11
申请人：
北京航空航天大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种Mo-Si-B/TiN复合涂层及其制备方法
申请号	CN202110265206.7	申请日期	2021-03-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-29	公开/公告号	CN113046690A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/06 以镀层材料为特征的（C23C 14/04优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2;;;B;2;2;F;7;/;0;4;;;B;2;2;F;9;/;0;4;;;B;2;2;F;3;/;1;0;5查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	北京市海淀区学院路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航空航天大学	当前权利人	北京航空航天大学
发明人	周春根;侯庆艳
代理机构	北京航智知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	黄川;史继颖

摘要

本发明公开了一种Mo‑Si‑B/TiN复合涂层及其制备方法，Mo‑Si‑B/TiN复合涂层由TiN阻扩散层和Mo‑Si‑B混合层组成，TiN阻扩散层可以完全阻止制备过程中涂层与基体中元素的互扩散；在高温1200℃～1300℃下氧化100h后，氧化增重0.52mg/cm3～0.78mg/cm3，在Mo‑Si‑B混合层的表面形成晶态SiO2和非晶态硼硅酸盐混合层，可以阻止Mo‑Si‑B混合层进一步被氧化，氧化过程中TiN阻扩散层能够有效抑制Mo‑Si‑B混合层与基体间互扩散，从而保证Mo‑Si‑B/TiN复合涂层中有足够的抗氧化元素，有利于提高Mo‑Si‑B/TiN复合涂层的抗氧化寿命。

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