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台面型雪崩光电探测器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510736540.0
  • IPC分类号:H01L31/107
  • 申请日期:
    2015-11-03
  • 申请人:
    中国科学院半导体研究所;上海雨然信息技术公司
著录项信息
专利名称台面型雪崩光电探测器
申请号CN201510736540.0申请日期2015-11-03
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-03-16公开/公告号CN105405917A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/107IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;0;7查看分类表>
申请人中国科学院半导体研究所;上海雨然信息技术公司申请人地址
北京市海淀区清华东路甲35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院半导体研究所,上海雨然信息技术有限公司当前权利人中国科学院半导体研究所,上海雨然信息技术有限公司
发明人杨晓红;尹冬冬;何婷婷;叶焓;王帅;韩勤
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人任岩
摘要
一种台面型雪崩光电探测器,用于高速单光子探测,包括依次制作的一衬底,一N型欧姆接触层,一吸收层,一电荷层,一倍增层,一欧姆接触层,一N型金属电极,一P型金属电极,一减反层,一侧壁高掺层和一表面钝化层,本发明是通过侧壁结构重新定义台面型InGaAs/InP雪崩光电探测器侧壁的电场分布,使得尽量减小器件的侧壁电场分布和暗电流,以提高器件的可靠性、高灵敏度探测性能和雪崩光电探测器的工作频率。

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