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防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置及方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310429498.9
  • IPC分类号:B01D53/18;B01D46/00
  • 申请日期:
    2013-09-22
  • 申请人:
    厦门市威士邦膜科技有限公司
著录项信息
专利名称防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置及方法
申请号CN201310429498.9申请日期2013-09-22
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-12-25公开/公告号CN103463939A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/18IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;1;8;;;B;0;1;D;4;6;/;0;0查看分类表>
申请人厦门市威士邦膜科技有限公司申请人地址
福建省厦门市火炬高新区(翔安)产业区翔岳路17号101、201单元 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人威士邦(厦门)环境科技有限公司当前权利人威士邦(厦门)环境科技有限公司
发明人王俊川
代理机构泉州市博一专利事务所代理人方传榜
摘要
本发明公开了一种防止MOCVD生产氮化镓的氨气回收膜组件堵塞的装置,包括前置组件、预处理组件及氨气吸收组件,氨气吸收组件包括膜组件、氨水储罐、换热器一、循环泵一、吸收剂入口和吸收剂出口,所述膜组件设有进气口、出气口、进水口及出水口,预处理组件包括气液传质设备、碱性水罐、循环泵二及换热器二。混合气进入氨气回收膜组件之前先经过气液传质设备,以吸收与水或碱接触生成堵塞膜组件的微溶于水或难溶于水物质的气体杂质,再经过换热器换热升温变成未饱和的湿混合气,以防止饱和或过饱和的湿混合气在氨气回收膜组件在气侧气孔凝结造成膜透水,最后再经过氨气回收膜组件。本发明能有效避免膜组件堵塞,大大延长了氨气回收膜组件的使用寿命。

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